东北大学机械工程与自动化学院导师：王庆 正文

　　▶个人简介
　　王庆（1970-），男，工学博士，博士后出站人员，东北大学副教授，硕士生导师，美国University of North Texas大学访问学者。

　　▶联系方式
　　13940400630（手机）；
　　qingwang@mail.neu.edu.cn（邮件）；

　　▶主要研究方向
　　（1）纳米薄膜的物理化学气相沉积；
　　（2）机械零件的等离子体表面改性；
　　（3）纳米薄膜的机械学性能研究。

　　▶获奖情况
　　讲授本科生课程—《过程装备控制》（课堂教学、实验）；曾经获得2008冶金部科技进步3等奖，沈阳市科技进步3等奖各一项。

　　▶近期论文
　　[1]  Wang Qing, Ba Dechun. The effect ions current density on target etching in Radio Frequency-Magnetron Sputtering Process. Plasma Science and Technology, 2012，14
　　[2]  Swayambhu  Behera, Qing Wang. The plasma pretreatment effects on oxygen plasma-induced carbon loss and surface roughening in an ultralow-k organosilicate glass ?lm. J. Phys. D: Appl. Phys. 44 (2011) 155204
　　[3]  Qing Wang, De-chun Ba. An investigation on hysteresis process of ZnO film deposition and changes of surface morphology and wettability Materials Letters 68 (2012) 320–323

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